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EQ-A · Automated Test Equipment

자동화 시험 장비 — 웨이퍼 · 칩 · TO · COB

광소자 생산 공정의 각 단계에서 칩과 소자를 자동으로 적재 · 정렬 · 시험 · 분류하는 장비입니다. 자체 개발 SMU를 써서 장비 간 호환성과 확장성이 좋습니다.

제조 PSS · Wuhan Precise Electronics퓨텍 한국 공식 대리점지원 선정 · 데모 · 시스템 구성 · 국내 수리 접수
AUTOMATED TEST

웨이퍼부터 광엔진까지 자동 시험

자체 개발 SMU와 프로브 구조, 비전 정렬, 자동 적재 · 분류 기능을 갖춘 자동 시험기입니다. 다중 파라미터 · 다중 조건으로 불량을 걸러 다음 공정으로 넘어가지 않게 하고, 시험 데이터는 로컬 · 원격 SQL 서버에 저장합니다.

PSS 자동 시험 장비
WT-8502 · WT-VL602

VCSEL 웨이퍼 시험기

PSS VCSEL 웨이퍼 시험기

850 nm 광통신 VCSEL 웨이퍼와, 3D 센싱 · LiDAR · 고출력 면발광 칩의 광전 성능을 웨이퍼 상태에서 시험합니다. Mapping sweep으로 칩마다 정확히 위치를 잡고 LIV, 스펙트럼, NF · FF를 측정합니다.

  • 6인치 척, 4 · 6인치 웨이퍼 대응
  • 자체 프로브 구조, 프로브 압력 자동 보정
  • LiDAR VCSEL용 100 ns Narrow 30 A 펄스
  • 다중 파라미터 선별 후 분류

모델별 사양

WT-8502
0 – 100 mA, DC · 펄스, 0 – 50 mW, 스테이지 25 – 85 °C, UPH ≥ 7,000
WT-VL602
0 – 30 A 100 ns 펄스, 0 – 100 W, 25 – 125 °C, UPH ≥ 3,600
파장
800 – 1000 nm
측정
Ith, P, Vf, Rs, SE, λp · λc, FWHM, 암점 · Divergence
온도
안정도 · 균일도 < ±0.5 °C
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CHIP22406 · 22406-P

LD 칩 시험기

PSS LD 칩 시험기

광통신(DFB · FP · EML · SOA-EML) 칩과 가시광 레이저 칩의 광전 성능을 자동으로 시험합니다. 6인치 블루 필름 링으로 칩을 적재하고, 비전 정렬과 매니퓰레이터로 자동 집어 시험합니다. 다중 프로브의 압력을 실시간으로 감지해 접촉을 보장합니다.

  • LIV 곡선, 스펙트럼, Divergence, Polarization 시험
  • 칩 코드 OCR 인식
  • 다중 조건 선별로 불량 칩 차단
  • 스테이지 20 – 90 °C, 안정도 < ±0.1 °C

모델별 사양

CHIP22406
CW/펄스 0 – 500 mA, 0 – 5 V, 0 – 100 mW, 900 – 1700 nm, SMSR · Ea 곡선
CHIP22406-P
CW 0 – 5 A · 펄스 0 – 10 A, 0 – 20 V, 0 – 100 W, 350 – 700 nm
시험 효율
UPH ≥ 600
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BART7101 · BART2201

LD BAR 시험기

PSS LD BAR 시험기

광통신 · 가시광 LD BAR를 자동으로 시험합니다. 4인치 점착 방지 박스와 6인치 블루 필름 링 적재, 자체 다중 프로브 구조, 단일 · 이중 스테이션 벤치와 집광 시스템을 갖췄습니다.

  • LIV, 스펙트럼, Divergence, Polarization, OCR
  • 0 – 1000 mA (범위 맞춤 가능)
  • 스테이지 20 – 90 °C, 안정도 < ±0.1 °C
  • UPH ≥ 360

모델별 사양

BART7101
단일 스테이션, 0 – 5 V, 0 – 100 mW 또는 0 – 10 W, 350 – 1000 · 900 – 1700 nm
BART2201
이중 스테이션, 0 – 20 V, 0 – 100 mW, 900 – 1700 nm
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COC-SOA121

SOA Coupling Tester

PSS SOA Coupling Tester

광증폭기(SOA) 칩 · 소자의 Input / Output coupling, LIV, 스펙트럼, Polarization 파라미터를 시험합니다. 비전 인식으로 칩마다 자동 정렬해 시험하고 적재 · 분류까지 자동으로 합니다. 공기 베어링 방진 구조와 6축 정밀 결합 슬라이드로 Coupling accuracy를 높였습니다.

  • 렌즈 광섬유로 온도별 자동 결합
  • PV · 스펙트럼 · Polarization ER(CW · 펄스)
  • Mode Field Divergence · 빔 품질 분석
  • 스테이지 25 – 85 °C (−40 – 125 °C 맞춤)

주요 사양

구동 전류
0 – 100 / 250 / 500 mA, 0.1% FS
펄스
폭 20 µs – 5 ms, 주기 2 ms – 6 s
광파워
0 – 500 mW
파장
1200 – 1700 nm
측정
Ith, P, Vf, Rs, SE, Kink, Gain, NF, PDG
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COC-TunLD62

Tunable Laser Tester

PSS Tunable Laser 시험기

Tunable Laser COC의 다채널 조합 전원, LIV, 스펙트럼을 시험합니다. 6개 COC를 한 번에 올려 예열한 뒤 순서대로 시험하고, TEC 스테이지와 COC Thermistor 피드백으로 ±0.1 °C 안에서 온도를 유지합니다. Burn-in 지그와 호환돼 재적재가 없습니다.

  • PXIe SMU로 SOA · Gain 0 – 500 mA, AP/CP 0 – 50 mA (0.1 mA 스텝)
  • 대면적 PD와 단일모드 광섬유 결합 스펙트럼
  • 파장 1200 – 1650 nm
  • 스테이지 20 – 85 °C

주요 사양

전압
−5 ~ +5 V, 0.5% ± 5 mV
광파워
0 – 500 mW
펄스
폭 200 µs – 5 ms
크기
1350 × 1150 × 1850 mm
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구동 전류 파형 측정 데이터
구동 전류 파형연속 스윕, 펄스 스윕, 단일 펄스, 동기 트리거 출력 파형.클릭하면 원본 크기로 확대
TO TESTERS

TO-CAN 자동 시험기

광통신 · 센싱 · 가시광 TO-CAN을 핀 배치에 상관없이 소프트웨어로 전환해 시험합니다. 시험 지그가 Burn-in 시스템과 공용이라 Burn-in 전 · 후 비교 시험을 재적재 없이 합니다.

모델대상주요 사양
PAT5606VCSEL · FP · DFB · DML · EML · SOA-EML TO0 – 500 mA, EA ±5 V · ±200 mA, TEC ±1 A, 0 – 100 mW, 800 – 1700 nm, 상온 – 85 °C, ACR 시험
PAT-56-I(E)VCSEL · FP · DFB TO0 – 500 mA, 0 – 100 mW, LIV · EA PV 곡선
PAT-46-I(E)PIN-TIA · APD-TIA · PIN · APD TOVBR 0 – 70 V, Dark Current 0 – 100 nA, 내장 광원 850 · 1310 · 1490 · 1550 nm(2 MHz 변조), 64개 250 s(PIN-TIA)
LDTO3T8002데이터통신 TO 3-Temp−40 ~ 85 °C, 냉각 20분 · 가열 10분, 지그당 80개(EML 40개), 모드 호핑 판정, 질소 성에 방지
PAT903-RGB가시광 TO56 · TO9DC 0 – 10 A · 펄스 0 – 20 A, 0 – 30 W, 200 – 1100 nm, 20 – 85 °C, ≥ 200개/시간
PAT-56-I(E)-RGB가시광 TO56DC 0 – 500 mA, 0 – 100 mW, ≥ 300개/시간
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PLST401

LiDAR TO 시험기

PSS LiDAR TO 시험기

LiDAR 고출력 펄스 TO, VCSEL 어레이 TO, 시드 광원 소자의 펄스 시험용 소형 시험기입니다. 자체 30 A · 100 ns Narrow Pulse 계측기를 내장했고, 소량 시험과 R&D 검증에 맞습니다.

  • 100 ns 펄스 출력 · 펄스 PIV 스윕 · 펄스 파형 시험
  • 외부 Integrating Sphere로 100 W 이상 피크 측정
  • TEC 온도 제어 15 – 90 °C
  • Far-Field Divergence(옵션, ±60°)

주요 사양

펄스 전압
0 – 40 V
펄스 전류
0 – 30 A
광 검출
0 – 100 µA / 1 mA / 10 mA
PD 파장
400 – 1700 nm
계산
Io, Po, Vf, PCE 등
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100 ns Narrow Pulse 실측 측정 데이터
100 ns Narrow Pulse 실측100 ns 펄스 전원 인가 파형, 100 ns LIV 스윕 화면, 905 nm TO 펄스 LIV, 전류별 펄스 파형.클릭하면 원본 크기로 확대
TTP3302-P

가시광 TO 시험 · 분류 일체형

PSS TTP3302-P

TO56 · TO9 가시광 레이저의 LIV, 스펙트럼, Divergence을 자동으로 시험하고 분류합니다. 이중 스테이션으로 교대 시험하고, 적재 캐리어가 Burn-in 지그와 호환돼 고출력 TO 신뢰성 시험 전체를 하나로 구성합니다.

  • 펄스 0 – 10 A, 최소 100 µs, 듀티 0.1 – 1%
  • DC 0 – 4 A, 0 – 10 V
  • Divergence ±40°, 분해능 < 0.1°
  • 분광 200 – 755 nm, 분해능 0.44 nm

주요 사양

광파워
0 – 10 W (펄스)
작업대 온도
10 – 70 °C, ±0.5 °C 균일도
적재
최대 5층 캐리어, 블리스터 5개
전원
AC 220 V 10 A, 압축 공기 ≥ 0.45 MPa
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COBT10201 · COB 테스트 벤치

가시광 레이저 COB 시험기

PSS 가시광 COB 시험기

레이저 프로젝션 · HUD용 COB 모듈과 레이저 헤드라이트 광원의 성능을 시험합니다. 자동 적재 · 분류형(COBT10201)과 소량 · 검증용 벤치형이 있습니다. 대형 Integrating Sphere, CCD 빔 편향 · Divergence 측정, 이중 스테이션 TEC 스테이지를 갖췄습니다.

  • 10 A / 60 V, CW · 펄스(10 µs – 10 ms, 듀티 0.01 – 60%)
  • 전류 정확도 ≤ ±0.1 A, 안정도 1% / 48시간
  • 스테이지 15 – 90 °C, ±0.1 °C
  • 파장 380 – 780 nm, 0 – 150 W

측정 항목

LIV
CW · 펄스
광학
스펙트럼, 파장, Threshold, Slope Efficiency
빔
스폿 발산, 지향각 (근 · Far-Field 카메라)
분류
양 · 중 · 불량 자동 트레이 분류
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COBT2001

광모듈 COB 시험기

PSS COBT2001

VCSEL 다중모드 패키지의 광결합 전 · 후 모듈 시험과 VCSEL 칩 신뢰성 검증에 씁니다. PSS Burn-in 보드와 호환돼 SFP · QSFP · QSFP-DD COB의 Burn-in과 시험을 한 번에 끝냅니다. 집광 장치가 출력 크기에 관계없이 파워 측정 반복성을 보장합니다.

  • 이중 보드 4스테이션 병렬 시험
  • 대면적 PD, Divergence에 맞춰 PD 위치 조정
  • 이온 송풍으로 정전기 제거 · 방열
  • SFF8472 · 8436 · CMIS4.0

주요 사양

보드 수
SFP 28 · QSFP 12 · QSFP-DD 10 · OSFP 6
구동 능력
SFP ≤ 3.5 W … OSFP SR8 ≤ 16 W
광파워
0 – 10 mW, 1% FS ± 50 µW
시험 효율
UPH ≥ 300 (400G SR8)
일관성
Ith < 1%, Power < 1%
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